真空鍍膜機在線檢測設(shè)備

光密度在線測試儀可應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)線上，真空鍍膜設(shè)備(Vacuum coating equipment)主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。

蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。 對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過? 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備+所鍍產(chǎn)品圖
程，最終形成薄膜。

真空鍍膜設(shè)備薄膜均勻性的概念：
??? 1.厚度上的均勻性，也可以理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的尺度上看（也就是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當好，可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi)，也就是說對于薄膜的光學(xué)特性來說，真空鍍膜沒有任何障礙。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度，也就是說要實現(xiàn)10A甚至1A的表面平整，是現(xiàn)在真空鍍膜中主要的技術(shù)含量與技術(shù)瓶頸所在，具體控制因素下面會根據(jù)不同鍍膜給出詳細解釋。
??? 2.化學(xué)組分上的均勻性： 就是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過程不科學(xué)，那么實際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。
??? 3.晶格有序度的均勻性： 這決定了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技術(shù)中的熱點問題。

真空鍍膜設(shè)備具體生產(chǎn)過程中的在線檢測，可以安裝光密度在線測試儀來連續(xù)監(jiān)測真空鍍膜設(shè)備的鍍膜品質(zhì)。光密度在線測試儀的檢測原理是通過對鍍膜完成后整條線薄膜厚度的光學(xué)性能穩(wěn)定性測試，光源探測可見光透過率以及紅外線、紫外線的穿透率來控制鍍膜機，保證鍍膜生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)高效性。

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??? 文章來源：深圳市林上科技
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